申请/专利权人:苏州博众半导体有限公司
申请日:2022-12-19
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118259417A
主分类号:G02B7/18
分类号:G02B7/18
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本发明公开一种棱镜装调装置、系统及方法。棱镜装调装置包括安装板和装调板;安装板上设有多个过孔,每个过孔周围设有多个棱镜安装座;装调件包括装调板和多个装调块,装调块设于装调板上且与过孔一一对应,装调板连接安装板,装调块穿过过孔,装调块的顶面设有顶部标记,装调块的侧面设有侧部标记;安装在棱镜安装座上的棱镜能够反射侧部标记,使顶部标记和侧部标记能够在装调块的上方被观测到。通过在装调块的顶部、侧部设置高对比度的标记,采用物方远心成像系统对装调块的顶部、侧部的标记成像,利用图像算法精确计算侧部标记图像相对于顶部标记图像的位置和角度,量化棱镜的六个自由度误差,实现对反射棱镜六个自由度的高精度调整。
主权项:1.一种棱镜装调装置,其特征在于,包括:安装板100,所述安装板100上设有多个过孔101,每个过孔101周围设有多个棱镜安装座102;装调件,包括装调板200和多个装调块300,所述装调块300设于所述装调板200上且与所述过孔101一一对应,所述装调板200连接所述安装板100,所述装调块300穿过所述过孔101,所述装调块300的顶面设有顶部标记301,所述装调块300的侧面设有侧部标记302;安装在所述棱镜安装座102上的棱镜700能够反射所述侧部标记302,使所述顶部标记301和所述侧部标记302能够在所述装调块300的上方被观测到。
全文数据:
权利要求:
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