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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118253558A
主分类号：B08B13/00
分类号：B08B13/00;B07C5/34;B07C5/36
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本公开涉及一种刷体处理装置及刷体的处理方法，包括浸泡箱、卡头机构、驱动机构：所述浸泡箱被构造为具有用于容纳浸泡液的空腔；所述卡头机构转动连接在所述浸泡箱的空腔内，且被构造为用于连接刷体；所述驱动机构被构造为带动卡头机构转动。本公开的刷体处理装置工作的时候，先将刷体安装在卡头机构上，往浸泡箱内注入浸泡液，由此可将刷体浸入浸泡液内。卡头机构带动刷体在浸泡液中一边转动一边浸泡，由此可使刷体浸泡的更为均匀，避免传统浸泡中堆积在一起造成刷体变形等问题，本公开的刷体处理装置可以作为半导体领域中毛刷的标准浸泡、筛选工序。
主权项：1.一种刷体处理装置，其特征在于，包括：浸泡箱，所述浸泡箱被构造为具有用于容纳浸泡液的空腔；卡头机构，所述卡头机构转动连接在所述浸泡箱的空腔内，且被构造为用于连接刷体；驱动机构，所述驱动机构被构造为带动卡头机构转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种刷体处理装置及刷体的处理方法
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