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一种多晶硅还原炉底盘打磨及除尘装置 

申请/专利权人:西安讯生信息技术有限公司

申请日:2024-03-21

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118254070A

主分类号:B24B19/22

分类号:B24B19/22;B24B55/06;B24B41/02;B24B27/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明涉及一种多晶硅还原炉底盘打磨及除尘装置,包括还原炉底盘,还原炉底盘上面设置有电极和磁环,磁环套设在电极上;机架设置在还原炉底盘上,机架与还原炉底盘转动连接;打磨组件设置在机架内,用于对电极和磁环进行打磨;吸尘组件设置在机架内,用于吸收并排出打磨灰尘;升降组件设置在机架上,升降组件与打磨组件和吸尘组件连接,用于调节高度;驱动组件设置在机架内,驱动组件与打磨组件连接,用于给打磨组件提供输出动力。

主权项:1.一种多晶硅还原炉底盘打磨及除尘装置,其特征在于:包括还原炉底盘1、机架2、打磨组件3、吸尘设备4、升降组件5、驱动组件6;所述还原炉底盘1上面设置有电极101和磁环102,所述磁环102套设在所述电极101上;所述机架2设置在所述还原炉底盘1上,所述机架2与所述还原炉底盘1转动连接;所述打磨组件3设置在所述机架2内,用于对所述电极101和磁环102进行打磨;所述吸尘设备4设置在所述机架2内,用于吸收并排出打磨灰尘;所述升降组件5设置在所述机架2上,所述升降组件5与所述打磨组件3和所述吸尘设备4连接,用于调节高度;所述驱动组件6设置在所述机架2内,所述驱动组件6与所述打磨组件3连接,用于驱动打磨组件动作。

全文数据:

权利要求:

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