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申请/专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日：2022-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256883A
主分类号：C23C14/35
分类号：C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明硬盘零配件的加工方法，包括：在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗；对所述真空腔室进行抽真空，接通负电压，在所述真空腔室内产生辉光发电，通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层；以及对所述硬盘零配件进行清洗。本发明在硬盘零配件的表面上形成类金刚石碳层，使硬盘零配件的表面硬度增大，防止金属屑掉落，从而延长零配件的使用寿命以及提高硬盘的性能。
主权项：1.一种硬盘零配件的加工方法，其特征在于，包括：在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗；对所述真空腔室进行抽真空，接通负电压，在所述真空腔室内产生辉光发电，通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层；以及对所述硬盘零配件进行清洗。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞新科技术研究开发有限公司 硬盘零配件的加工方法
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