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一种热量分布均匀的多晶硅铸锭炉 

申请/专利权人:江苏德润光电科技有限公司

申请日:2023-10-31

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN221217980U

主分类号:C30B28/06

分类号:C30B28/06;C30B29/06

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权

摘要:本实用新型公开了多晶硅铸锭炉技术领域的一种热量分布均匀的多晶硅铸锭炉,包括炉体,炉体内设有保温箱,热交换台顶部设有导热座,保温箱顶部活动贯穿设置坩埚,坩埚底部与导热座顶部相接触,坩埚外侧壁套接设有导热套,导热套底部与导热座底部相接触,热交换台左右侧壁均设有多组散热片,左右两侧多组散热片顶部均设有吸热板,两组吸热板相对侧壁均设有导热板,两组导热板一端均与导热套外侧壁相连接,本实用在导热座的作用下能够更好的将热量传递给坩埚底部,在散热片、吸热板、导热板和导热套的作用下能够将热量传递给坩埚外侧壁,从而能够将热量均匀分布在坩埚外壁和底部,能够更好的对坩埚内的硅料进行加热。

主权项:1.一种热量分布均匀的多晶硅铸锭炉,包括炉体1,其特征在于:所述炉体1内设有保温箱3,所述炉体1底部设有升降组件2,升降组件2顶部均与保温箱3底部相连接,所述保温箱3内底部设有热交换台9,所述热交换台9顶部设有导热座8,所述保温箱3顶部活动贯穿设置坩埚5,所述坩埚5底部与导热座8顶部相接触,所述坩埚5外侧壁套接设有导热套6,所述导热套6底部与导热座8底部相接触,所述热交换台9左右侧壁均设有多组散热片12,左右两侧多组所述散热片12顶部均设有吸热板11,两组吸热板11相对侧壁均设有导热板10,两组导热板10一端均与导热套6外侧壁相连接。

全文数据:

权利要求:

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