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一种基于掺杂引入电子态材料制备日盲紫外探测器的方法 

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申请/专利权人:安徽大学

摘要:基于掺杂引入电子态材料制备日盲紫外探测器的方法,掺杂的p‑型二维材料与n‑型二维层状薄膜半导体材料制备异质结,n‑型二维层状薄膜半导体材料包含In2Se3、MoSe2、PdSe2过渡金属硒化物或过渡金属硫族化合物;p‑型二维材料是基于YxM1‑xXn化学式的二维材料,光电探测器包括在衬底上设有自下到上的结构:衬底绝缘层,n‑型二维层状薄膜材料薄膜与p‑型二维层状薄膜材料薄膜层叠放在上述n‑型二维层状薄膜材料薄膜层上成为p‑n异质结,整个异质结器件层置于所述底电极层上、顶电极层和顶栅透明电极。

主权项:1.基于掺杂引入电子态材料制备日盲紫外探测器的方法,其特征是,掺杂的p-型二维材料半导体薄膜与n-型二维层状薄膜半导体材料制备异质结,n-型二维层状薄膜半导体材料包含In2Se3、MoSe2、PdSe2过渡金属硒化物或过渡金属硫族化合物;p-型二维材料是基于YxM1-xXn化学式的二维材料,Y表示用于掺杂的过渡金属,包含Ta、Nb、Cr等过渡金属,M表示W、Mo、Re、Zr、Mn、Ti等第四周期和第五周期过渡金属,X表示S、Se、Te等硫族元素;光电探测器包括在衬底上设有自下到上的结构:衬底绝缘层,所述绝缘层包括硅、二氧化硅、三氧化二铝、PMMA、PI柔性绝缘衬底;底面反射电极层,所述电极层置于所述衬底绝缘层上;n-型二维层状薄膜材料薄膜与p-型二维层状薄膜材料薄膜层叠放在上述n-型二维层状薄膜材料薄膜层上成为p-n异质结,整个异质结器件层置于所述底电极层上,其中异质结结区与底面反射电极层重合且紧密接触;顶电极层,所述顶电极层设置在所述p-n结上方p-型二维材料的一侧或一周;顶栅透明电极,所述的顶栅透明电极设置在p-n结正上方,包含ITO、石墨烯。

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百度查询: 安徽大学 一种基于掺杂引入电子态材料制备日盲紫外探测器的方法

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