申请/专利权人:华灿光电(苏州)有限公司
申请日:2024-02-04
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118248807A
主分类号:H01L33/38
分类号:H01L33/38;H01L33/62
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本公开提供了一种改善耐用性的发光二极管及其制备方法,属于光电子制造技术领域。该发光二极管包括外延层和电极,所述电极位于所述外延层的表面上;所述电极包括交替层叠的至少一层第一金属层和至少一层第二金属层,所述第二金属层中金属材料的致密性大于所述第一金属层中金属材料的致密性,所述第一金属层在所述外延层上的正投影为第一投影,所述第二金属层在所述外延层上的正投影为第二投影,所述第二投影位于所述第一投影的内部。本公开实施例既能降低电极内致密性金属的含量,又能保证电极不容易在刻蚀过程受到损伤。
主权项:1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括外延层20和电极30,所述电极30位于所述外延层20的表面上;所述电极30包括交替层叠的至少一层第一金属层31和至少一层第二金属层32,所述第二金属层32中金属材料的致密性大于所述第一金属层31中金属材料的致密性,所述第一金属层31在所述外延层20上的正投影为第一投影,所述第二金属层32在所述外延层20上的正投影为第二投影,所述第二投影位于所述第一投影的内部。
全文数据:
权利要求:
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