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申请/专利权人：台湾中华精测科技股份有限公司
申请日：2020-06-10
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN113777368B
主分类号：G01R1/073
分类号：G01R1/073
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2021.12.28#实质审查的生效;2021.12.10#公开
摘要：本发明公开一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，所述悬臂式探针包含一主体段、分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成的两个侧翼段及分别自所述主体段于高度方向上的两端延伸所形成的一针测段与一固定段。所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂。所述针测段在垂直所述高度方向的长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。据此，通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。
主权项：1.一种垂直式探针卡，其特征在于，所述垂直式探针卡包括：多个导板，沿一高度方向彼此堆叠设置；以及多个悬臂式探针，定位于多个所述导板，每个所述悬臂式探针为可导电且一体成形的单件式构造，并且每个所述悬臂式探针包含：一主体段，穿设于多个所述导板内；两个侧翼段，分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个所述侧翼段夹持于多个所述导板中的至少两个所述导板；及一针测段与一固定段，分别自所述主体段于所述高度方向上的两端延伸所形成；所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂，所述固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接所述连接部与所述主体段的一缓冲悬臂，并且所述抵接部与所述连接部皆位于所述高度方向上；其中，多个所述悬臂式探针的所述抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；其中，所述针测段在垂直所述高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距；其中，于每个所述悬臂式探针之中，所述主体段在沿所述高度方向邻近所述抵接部与所述连接部的部位各凸出形成有一梯形结构；其中，当任一个所述悬臂式探针的所述抵接部抵于所述待测物时，所述针测悬臂与所述缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使所述抵接部抵接于其所相邻的所述梯形结构，所述连接部抵接于其所相邻的所述梯形结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾中华精测科技股份有限公司 垂直式探针卡及其悬臂式探针
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