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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2021-09-01
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN115916478B
主分类号：B25J11/00
分类号：B25J11/00;H01L21/677;B25J15/00;B25J9/16
优先权：["20200902 US 63/073,715","20210803 US 17/392,392"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2023.04.21#实质审查的生效;2023.04.04#公开
摘要：本公开内容描述了用于将装载锁定件整合到工厂接口占地面积空间中的装置、系统和方法。用于电子装置制造系统的工厂接口可包括内部空间、第一装载锁定件，和第一工厂接口机器人，内部空间由底部、顶部和多个侧部限定，第一装载锁定件设置在工厂接口的内部空间内，且第一工厂接口机器人设置在工厂接口的内部空间内，其中第一工厂接口机器人构造为在第一组基板载体与第一装载锁定件之间传送基板。
主权项：1.一种用于电子装置制造系统的工厂接口，所述工厂接口包括：内部空间，所述内部空间由底部、顶部和多个侧部限定，其中所述多个侧部包括背侧、右侧和左侧，所述背侧构造为面向所述电子装置制造系统的传送腔室；第一装载锁定件，所述第一装载锁定件设置在所述工厂接口的所述内部空间内，其中所述第一装载锁定件包括第一门和第二门，所述第一门近似垂直于所述背侧，所述第二门近似平行于所述背侧且可由传送腔室机器人出入；第二装载锁定件，所述第二装载锁定件设置在所述工厂接口的所述内部空间内，其中所述第二装载锁定件包括第三门和第四门，所述第三门近似垂直于所述背侧，所述第四门近似平行于所述背侧且可由所述传送腔室机器人出入，其中所述第二装载锁定件邻近所述第一装载锁定件；第一工厂接口机器人，所述第一工厂接口机器人设置在所述工厂接口的所述内部空间内，其中所述第一工厂接口机器人构造为在第一组基板载体与所述第一装载锁定件之间传送基板，其中所述第一装载锁定件可由所述第一工厂接口机器人出入；第二工厂接口机器人，所述第二工厂接口机器人构造为在第二组基板载体与所述第二装载锁定件之间传送基板，其中所述第二装载锁定件可由所述第二工厂接口机器人出入。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于将装载锁定件整合到工厂接口占地面积空间中的系统和方法
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