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申请/专利权人：帆宣系统科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种气旋导流式旋涂机构，其用于承载非圆形基板执行旋涂流体介质，气旋导流式旋涂机构主要包括下旋转构件与上旋转构件，下旋转构件顶部的基板承载面能承载非圆形基板定位，上旋转构件能被驱动升降地设置于下旋转构件的上方，上旋转构件的上圆盘底面部的气旋导流面面向该基板承载面并与非圆形基板之间具有气旋空间，上旋转构件与下旋转构件能被驱动同向旋转或同步旋转，借以在气旋导流面与基板承载面之间产生旋风，利用旋风范围内外的气压差，有效地将涂覆于非圆形基板顶面外周缘的流体介质向内推移，消除因离心作用在非圆形基板边缘积聚较厚的流体介质的“边缘聚积效应”。
主权项：1.一种气旋导流式旋涂机构，其用以承载一非圆形基板执行旋涂流体介质，其特征在于，该气旋导流式旋涂机构包括：一下旋转构件，其包括一下圆盘以及连接于该下圆盘底面中心的一下驱动轴，该下圆盘的顶面为一基板承载面，该基板承载面能承载所述非圆形基板，且该下旋转构件能被驱动旋转；以及一上旋转构件，其能被驱动升降地设置于该下旋转构件的上方，且能被驱动旋转，该上旋转构件包括一上圆盘以及连接于该上圆盘的顶面中心的一上驱动轴，该上圆盘与该下圆盘上下同轴相对，该上圆盘的底面为一气旋导流面，该气旋导流面面向该基板承载面，且该气旋导流面至该下旋转构件上所承载的所述非圆形基板之间具有一气旋空间，且该上旋转构件能与该下旋转构件同向旋转或同步旋转，借以在该气旋导流面与该基板承载面之间产生旋风。
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百度查询： 帆宣系统科技股份有限公司 气旋导流式旋涂机构
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