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一种显示器件PAD激光剥离露出方法 

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申请/专利权人:安徽熙泰智能科技有限公司

摘要:本发明公开了一种显示器件PAD激光剥离露出方法,包括如下步骤:1金属保护层图案化;2蒸镀有机材料;3薄膜封装;4激光剥离Pad上方的薄膜封装,本发明使用阳极金属层充当Pad周围电路的保护层,在阳极图案化光刻的同时做出金属Pad保护层,再使用激光剥离的方法将硅基OLED的Pad露出,降低了加工步骤,节省了制造成本,避免了CMOS电路损伤,提高了生产良率,提高了激光剥离工艺的能量最高限值,提高了激光剥离效果。

主权项:1.一种显示器件PAD激光剥离露出方法,其特征在于,包括如下步骤:1金属保护层图案化;2蒸镀有机材料;3薄膜封装;4激光剥离Pad上方的薄膜封装。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 安徽熙泰智能科技有限公司 一种显示器件PAD激光剥离露出方法

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