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申请/专利权人：湘潭大学;湖南华碳传感技术研究院
摘要：本发明公开了一种用于PPB浓度CO检测的碳基FET气体传感器及其制备方法和应用，所述碳基FET气体传感器，由FET传感器基底与位于FET传感器基底上方的SnO2敏感材料层构成，所述FET传感器基底依次包含硅基底，位于硅基底上方由碳纳米管构成的沟道层，位于沟道层上方的介电层，位于介电层两侧的源极与漏极组成，所述SnO2敏感材料层通过溶胶凝胶法修饰于介电层的上方，经测试，基于SnO2敏感材料的碳基FET型气体传感器可实现PPB级的CO气体的痕量检测，并具备高选择性、低工作温度的优点。
主权项：1.一种用于PPB浓度CO检测的碳基FET气体传感器，其特征在于：所述碳基FET气体传感器，由FET传感器基底与位于FET传感器基底上方的SnO2敏感材料层构成，所述FET传感器基底依次包含硅基底，位于硅基底上方由碳纳米管构成的沟道层，位于沟道层上方的介电层，位于介电层两侧的源极与漏极组成，所述SnO2敏感材料层修饰于介电层上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湘潭大学 湖南华碳传感技术研究院 一种用于PPB浓度CO检测的碳基FET气体传感器及其制备方法和应用
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