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申请/专利权人：东莞吉川机械科技股份有限公司
摘要：本发明涉及去除表面材料的技术领域，尤其公开了半导体陶瓷微雕喷砂机，包括机壳、设置在机壳内用于承载外界半导体的工作台；还包括设置在机壳内部的运动机构、喷枪摆动系统，喷枪摆动系统包括用于喷砂的喷枪、用于承载喷枪的固定套，喷枪摆动系统还包括第三驱动件，第三驱动件用于喷枪相对工作台的朝向改变；运动机构包括第一驱动件，第一驱动件用于使喷枪与工作台上的半导体之间的距离增大或减小，经由第一驱动件调整喷枪与工作台上的半导体之间的距离，经由第三驱动件控制喷枪朝向摆动，能使喷枪能够在不同角度和方向上对半导体进行精确喷砂，实现不同角度精细加工。
主权项：1.半导体陶瓷微雕喷砂机，包括机壳1、设置在机壳1内用于承载外界半导体的工作台29；其特征在于：还包括设置在机壳1内部的运动机构3、喷枪摆动系统9，与机壳1连通的除尘器5，除尘器5用于收集过滤喷砂过程中产生的粉尘、废气；喷枪摆动系统9包括第三驱动件91、用于喷砂的喷枪910，第三驱动件91用于喷枪910相对工作台29的朝向改变；运动机构3包括第一驱动件31，第一驱动件31用于驱动喷枪910移动以使得喷枪910与工作台29所承载的半导体晶圆件之间的距离增大或减小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞吉川机械科技股份有限公司 半导体陶瓷微雕喷砂机
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