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面朝上的晶片边缘抛光设备 

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申请/专利权人:应用材料公司

摘要:示例性基板边缘抛光设备可包括定义基板支撑表面的夹盘主体。设备可包括搁置在夹盘主体上的边缘环。设备可包括从边缘环径向向外设置的保持壁。设备可包括从保持壁径向向内设置的浆料递送端口。设备可包括在夹盘主体上方可定位的圆柱形心轴。设备可包括与圆柱形心轴的下端耦接的环形抛光垫。

主权项:1.一种基板边缘抛光设备,包含:夹盘主体,定义基板支撑表面;边缘环,搁置在所述夹盘主体上;保持壁,从所述边缘环径向向外设置;浆料递送端口,从所述保持壁径向向内设置;心轴,可定位在所述夹盘主体上方;以及环形抛光垫,与所述心轴的下端耦接。

全文数据:

权利要求:

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