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申请/专利权人：临沂市科翰硅制品有限公司
摘要：本发明公开了一种各向异性生长成形的二氧化硅颗粒制备方法，属于化学机械抛光材料技术领域。本发明利用硅氧烷水解制备二氧化硅的成形原理，通过优化氨水和有机胺的比例，严格调控颗粒周围环境的酸碱度，诱导颗粒的各向异性生长，最终得到具有异形化外形的二氧化硅颗粒。本发明制备的异型硅溶胶纯度高，可用于硅片抛光，抛光速率较传统球形硅溶胶，更快；并且整个工艺过程简单，成本低效率高，适合大规模落地推广应用。
主权项：1.一种各向异性生长成形的二氧化硅颗粒制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：将有机硅氧烷、水和催化剂按照质量比1:1-2:0.05-0.1置于容器中搅拌均匀，再真空脱气，升温至50-100℃，恒温反应8-16小时，冷却至室温，得到各向异性生长成形的二氧化硅颗粒；所述催化剂为氨水和有机胺按照质量比1-5:20混合而得；所述有机胺为易溶于水的有机胺，具体为氮氮二乙基羟胺、环丙基甲胺、丙二胺、二甲胺、三甲胺、二乙胺、二异丙胺、四甲基丙二胺、六亚甲基四胺、氮丁基二乙醇胺、甲酰胺、己内酰胺、三乙烯四胺中的一种或者几种。
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权利要求：
百度查询： 临沂市科翰硅制品有限公司 各向异性生长成形的二氧化硅颗粒制备方法
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