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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明涉及微纳测量领域，具体涉及一种微尺度探针球径下的毛细作用的参数化模型及其设计方法。本发明提供的微尺度探针球径下的毛细作用的参数化模型包括两种类型，分别是相对湿度敏感型的参数化模型，适合应用于测量环境的相对湿度会发生波动的测量场景。以及表面粗糙度敏感型的参数化模型，适合应用于测量环境中被测界面的表面粗糙度不均匀的策略场景中。前者通过先构建开尔文半径与相对湿度间的映射关系，再引入精简模型进行二次简化得到，后者通过先重建粗糙界面形貌的数学方程，再引入精简模型进行针对性简化得到。本发明解决了现有各类毛细作用力度量方案在微米尺度下的精度过低，不能适应湿度变化或表面粗糙度不均的测量场景的问题。
主权项：1.一种微米尺度探针球径下的毛细作用的参数化模型，其特征在于：其用于在微纳测量系统中作为数据处理模块，并度量微米尺度探针检测条件下的界面间的毛细作用力FCap，所述参数化模型将测量环境的相对湿度作为关键参数，所述参数化模型的表达式如下： 上式中，γL表示探针与被测界面间的液体的表面张力系数；R表示探针前端的球径；c表示被测界面与半月板桥的表面接触角的平均余弦值；α表示探针前端的球体中轴线与被测界面间的半月板桥边界之间的夹角；Rg表示气体常数；T表示开氏温标下的环境温度；RH表示测量环境的相对湿度；D表示探针与被测界面的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 微尺度探针球径下的毛细作用的参数化模型及其设计方法
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