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一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法 

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申请/专利权人:广州市尤特新材料有限公司

摘要:本发明公开了一种香槟色薄膜用靶材,包括以下重量百分比原料:Ag1.2‑1.6%、Al0.1‑0.6%、Fe0.2‑0.5%、In0.2‑0.4%、淬火改性剂0.1‑0.3%、钛粉细化剂0.1‑0.2%、余量为Au。本发明由一种金为主要材料的靶材,主要应用于真空炉内镀膜手表、手机壳、首饰及装饰产品领域;采用本发明的香槟色金靶材应用于真空磁控溅射镀膜技术中,由其制备的薄膜色泽光亮柔和,膜层表面硬度高、耐磨性好且具有及佳的抗氧化性能。

主权项:1.一种香槟色薄膜用靶材,其特征在于,包括以下重量百分比原料:Ag1.2-1.6%、Al0.1-0.6%、Fe0.2-0.5%、In0.2-0.4%、淬火改性剂0.1-0.3%、钛粉细化剂0.1-0.2%、余量为Au;所述淬火改性剂的制备方法为:S1:将Si粉、稀土镧粉按照重量比2:3混合,然后置于500-600℃下烧结10-20min,烧结压力为10-15MPa,烧结结束,得到烧结料;S2:将烧结料送入到研磨机中进行研磨,研磨过100-150目,得到研磨料;S3:将研磨料送入到等离子体箱内进行处理,处理结束,等离子体料;S4:将等离子体料采用热均化工艺处理,处理结束,得到淬火改性剂。

全文数据:

权利要求:

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