买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:南京大学
摘要:本发明公开了激光辅助MPCVD法增强单晶金刚石SiV色心的应用,以及具有SiV色心的单晶金刚石,其特征在于:所述SiV色心的形成系采用激光辅助MPCVD法在单晶金刚石衬底上生长硅掺杂的单晶金刚石而成。本发明方法采用激光辅助MPCVD法制备单晶金刚石,Si元素在制备过程中经等离子体辅助进入金刚石晶粒中,形成SiV发光中心,使单晶金刚石具有很强的SiV发光特性,该方法对设备要求较低、工艺简单、易于操作。
主权项:1.激光辅助MPCVD法在生长单晶金刚石SiV色心的应用,其特征在于:其具体步骤为:将单晶金刚石进行表面粗化刻蚀,以刻蚀后的单晶金刚石为衬底,提供气态C源和固态Si源,采用激光辅助MPCVD法继续生长硅掺杂的单晶金刚石,并使单晶金刚石处于激光直射光斑范围内,激光波长为405-600nm,激光功率为10mW-100mW,形成具有SiV发光的单晶金刚石。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 南京大学 激光辅助MPCVD法增强单晶金刚石SiV色心的应用及具有SiV色心的单晶金刚石
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。