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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2018-12-11

公开（公告）日：2022-07-22

公开（公告）号：CN111304629B

专利技术分类：..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法[2006.01]

专利摘要：本发明提供一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部。即使腔室盖处于开启状态，气体通路仍然处于封闭状态，而不会暴露在大气环境中，从而避免了在开启腔室盖，以取放衬底或者维护腔室时，因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路，进而可以保证腔室的洁净度，降低薄膜的颗粒缺陷，提高器件的质量及产品良率。

专利权项：1.一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部；所述铰接模块包括第一进气块、转轴和第二进气块，所述第一进气块与所述腔体固定，所述第二进气块与所述腔室盖固定；所述第一进气块内设有第一进气通道，所述第一进气通道与所述外部气源连通，所述第一进气块上还设有贯穿其的第一通孔，所述第一通孔与所述第一进气通道连通；所述第二进气块内设有第二进气通道，所述第二进气通道与所述腔体的内部连通，所述第二进气块上还设有贯穿其的第二通孔，所述第二通孔与所述第二进气通道连通；所述转轴伸入所述第一通孔和所述第二通孔；其中，在所述转轴的外周壁与所述第一通孔和所述第二通孔的孔壁之间形成有环形通道，所述环形通道与所述第一进气通道和所述第二进气通道连通；所述气体通路由所述第一进气通道、所述第二进气通道和所述环形通道构成；或者，在所述转轴的外周壁与所述第一通孔的孔壁之间形成有第一环形通道，在所述转轴的外周壁与所述第二通孔的孔壁之间形成有第二环形通道，且所述第一环形通道和所述第二环形通道间隔设置；在所述转轴的内部设有第三进气通道，所述第一环形通道分别与所述第一进气通道和所述第三进气通道连通；所述第二环形通道分别与所述第二进气通道和所述第三进气通道连通；所述气体通路由所述第一进气通道、所述第一环形通道、所述第三进气通道、所述第二环形通道和所述第二进气通道构成。

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