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申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日：2021-03-25
公开（公告）日：2021-07-02
公开（公告）号：CN113066751A
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本申请公开了一种承载装置及承载系统，承载装置包括承载本体、吸附件以及驱动装置，承载本体的承载面一侧设有多个容置槽，容置槽的底部设有通孔，驱动装置贯穿通孔设置，吸附件的一端设有吸附面，吸附面与待测件吸附连接，吸附件的另一端收容于容置槽内，并与驱动装置连接；吸附件开设有吸附孔，吸附孔贯穿吸附件，并与真空气路连通，吸附孔用于对晶圆进行吸附；驱动装置用于带动吸附件沿承载面的法线方向往复移动。承载装置通过分布在承载本体上不同位置的吸附件对不同区域的待测件进行吸附，从而使待测件的不同区域均能够通过真空吸附的方式进行压平，从而提高待测件的检测精度。
专利权项：1.一种承载装置，其特征在于，所述承载装置包括承载本体、吸附件以及驱动装置，所述承载本体的承载面一侧设有多个容置槽，所述容置槽的底部设有通孔，所述驱动装置贯穿所述通孔设置，所述吸附件的一端设有吸附面，所述吸附面与待测件吸附连接，所述吸附件的另一端收容于所述容置槽内，并与所述驱动装置连接；所述吸附件开设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述吸附件，并与真空气路连通，所述吸附孔用于对所述待测件进行吸附；所述驱动装置用于带动所述吸附件沿所述承载面的法线方向往复移动。
百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 承载装置及承载系统
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