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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2019-07-18
公开（公告）日：2021-01-15
公开（公告）号：CN212357383U
专利技术分类：..沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物[2006.01]
专利摘要：本公开的实施例涉及制品、被涂覆的制品，所述制品包括：主体；含稀土金属的氟化物涂层，所述含稀土金属的氟化物涂层在所述主体的表面上；以及缓冲层，所述缓冲层在所述主体的所述表面上，其中所述含稀土金属的氟化物涂层覆盖所述缓冲层。
专利权项：1.一种制品，其特征在于，所述制品包括：主体；含稀土金属的氟化物涂层，所述含稀土金属的氟化物涂层在所述主体的表面上；以及缓冲层，所述缓冲层在所述主体的所述表面上，其中所述含稀土金属的氟化物涂层覆盖所述缓冲层。
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