恭喜深圳市原速光电科技有限公司李哲峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市原速光电科技有限公司申请的专利一种沉积装置及一种原子层沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109680263B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910174022.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种沉积装置及一种原子层沉积设备是由李哲峰;郑文岸;梁立元;刘轶群设计研发完成，并于2019-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积装置及一种原子层沉积设备在说明书摘要公布了：一种沉积装置包括以中空壳体为反应腔、与反应腔连通的供给单元，其中供给单元包括反应物传输模块，反应物传输模块与反应单元可拆卸连接。一种原子层沉积设备，包括机架和上述沉积装置，可用于粉末表面包裹层的制备。本发明可以有效地解决沉积不同薄膜材料时出现的交叉污染及ALD沉积颗粒包覆层不完整的问题。
本发明授权一种沉积装置及一种原子层沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积装置，其特征在于，包括：反应单元，包括具有中空结构的壳体，该中空结构形成对被沉积体实施沉积的反应腔；供给单元，与所述反应腔连通，所述供给单元包括反应物传输模块；导流单元，与所述反应腔和所述反应物传输模块分别连通；其中，所述反应物传输模块与所述反应单元可拆卸连接；所述导流单元与所述反应腔之间可拆卸连接，或者，所述导流单元与所述反应物传输模块之间可拆卸连接；所述导流单元为过滤件；所述过滤件的至少一部分暴露于所述反应腔内。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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