恭喜朗姆研究公司衡石·亚历山大·尹获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用氮化铪层使氧化铪铁电性能改性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111971802B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980024522.6，技术领域涉及：H10D30/01；该发明授权用氮化铪层使氧化铪铁电性能改性是由衡石·亚历山大·尹;朱忠伟设计研发完成，并于2019-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用氮化铪层使氧化铪铁电性能改性在说明书摘要公布了：一种在衬底处理系统中形成铁电氧化铪HfO2的方法包括：在衬底上沉积HfO2层；在所述HfO2层上沉积氮化铪HfN层；以及使所述HfO2层和所述HfN层退火以形成铁电铪HfO2。
本发明授权用氮化铪层使氧化铪铁电性能改性在权利要求书中公布了：1.一种在衬底处理系统中形成用于铁电RAM的铁电氧化铪HfO2的方法，该方法包括：在衬底上沉积第一HfO2层；在所述第一HfO2层上沉积HfN层；在所述HfN层上沉积第二HfO2层，所述第二HfO2层具有与所述第一HfO2层同样的材料；在所述第二HfO2层上沉积顶部电极，使所述第一HfO2层、所述第二HfO2层和所述HfN层退火以形成铁电铪HfO2。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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