买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111063646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910972792.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法是由关家一马设计研发完成，并于2019-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法在说明书摘要公布了：提供晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法，该晶片保持装置能够实施将晶片的起伏适当地去除的加工。该晶片保持装置对晶片进行保持，其中，该晶片保持装置包含：保持部，其包含分别具有与吸引源选择性地连接的吸引路的多个压电元件，由该多个压电元件的前端面构成对晶片进行保持的保持面；框体，其对该保持部进行支承；以及控制单元，其与晶片的起伏对应地对施加给该多个压电元件的电压进行控制，使由该多个压电元件的前端面构成的保持面与晶片的起伏对应。

本发明授权晶片保持装置和使用了晶片保持装置的晶片的加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片的加工方法，该晶片的加工方法使用了晶片保持装置，该晶片保持装置模仿晶片的起伏而对晶片进行保持，该晶片保持装置至少由保持部和框体构成，该保持部具有对晶片进行保持的保持面，该框体对该保持部进行支承，该保持部由呈格子状配置的多个柱状进退元件构成，并且该保持面由该多个柱状进退元件的前端面构成，在该多个柱状进退元件各自的前端面上形成有用于对晶片进行吸引保持的吸引孔，该晶片保持装置具有控制单元，该控制单元与晶片的起伏对应地对该多个柱状进退元件进行控制，该晶片具有第1面和与该第1面相反的一侧的第2面，其中，该晶片的加工方法具有如下的工序：起伏检测工序，将晶片的第1面在X轴方向和Y轴方向上分割成与该多个柱状进退元件的前端面的尺寸相当的尺寸的网状并与X坐标Y坐标相关联地对该分割成网状的区域的各个Z轴方向位置进行测量，从而对晶片的该第1面的起伏进行检测；起伏生成工序，与晶片的起伏对应地对该晶片保持装置的该多个柱状进退元件进行控制而在该保持面上生成起伏；保持工序，使在该起伏检测工序中检测出的晶片的起伏与在该起伏生成工序中生成的该保持面的起伏一致并在该多个柱状进退元件的各个吸引孔生成吸引力，利用生成了起伏的该保持面对晶片的第1面进行保持并维持晶片的起伏；树脂铺设工序，在具有平坦面的基板上铺设凝胶状树脂；树脂硬化工序，在利用该保持部的该保持面对晶片进行保持的状态下，使晶片的该第2面与该基板面对，对该凝胶状树脂进行按压而在晶片的该第2面上铺设该凝胶状树脂并使该凝胶状树脂硬化；以及脱离工序，使晶片与硬化的树脂一起从该基板脱离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。