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恭喜佛山王氏航空光学科技有限公司王越民获国家专利权

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龙图腾网恭喜佛山王氏航空光学科技有限公司申请的专利用于真空镀膜的公自转式镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110172677B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910601857.1,技术领域涉及:C23C14/50;该发明授权用于真空镀膜的公自转式镀膜设备是由王越民;王焘骏设计研发完成,并于2019-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

用于真空镀膜的公自转式镀膜设备在说明书摘要公布了:用于真空镀膜的公自转式镀膜设备,炉体内设有镀膜炉腔,镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构,内壁一侧连接有靶材,本发明的公转盘转动机构通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现AR固定架组件公转,而自转齿轮机构通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合,实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜,并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的;由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制,能够使其选择性均匀地镀膜,实现在同一炉批次内自动翻面,避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能,有效节省时间和电能,并提高了双面镀膜效率,有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。

本发明授权用于真空镀膜的公自转式镀膜设备在权利要求书中公布了:1.用于真空镀膜的公自转式镀膜设备,包括有炉体1,该炉体1内设有镀膜炉腔18,其特征在于:所述镀膜炉腔18的内部设置有公转盘转动机构21和自转齿轮机构22,内壁一侧连接有靶材20,该公转盘转动机构21连接于炉体1的内侧底部,其包括有固定连接炉体1的底盘23,所述底盘23的上方均匀排列连接有第一支撑柱24若干组,并通过第一支撑柱24连接有不动大齿盘25,该不动大齿盘25的外周均匀围绕啮合有小齿轮26若干组,并形成行星齿轮机构,所述小齿轮26的底部中心均通过延伸穿设于公转盘27,顶端中心均延伸穿设于挂架托盘28,该公转盘27的底部固定连接有传动齿轮29,所述传动齿轮29的下方可转动连接底盘23,上方通过均匀排列的第二支撑柱30连接挂架托盘28,该挂架托盘28的顶端面围绕通过公转支撑杆8连接有公转上盘5,所述公转上盘5与挂架托盘28之间可拆卸连接有AR固定架组件19若干组,该AR固定架组件19依次围绕设置于挂架托盘28的边沿;所述自转齿轮机构22设置于炉体1的内侧底部与底盘23之间,其包括有旋转缸16,该旋转缸16固定嵌设于炉体1的外侧底部,其旋转轴穿过炉体1并设置于镀膜炉腔18的内部,所述旋转缸16的旋转轴连接有曲柄摇杆机构17,该曲柄摇杆机构17的另一端连接有导向滑块14,所述导向滑块14的下方连接有导向轨13,该导向轨13固定连接于炉体1的内侧底部,所述导向滑块14的上方固定连接有齿条12,该齿条12与自转齿轮11相啮合,所述自转齿轮11套设于AR固定架组件19的底端,且该AR固定架组件19于自转齿轮11的上方均固定穿设有自转定位器10;所述AR固定架组件19包括有挂架32及连接于挂架32两端的自转下轴9和定位上轴6,该挂架32的上方通过定位上轴6活动穿设于公转上盘5,该挂架32的下方通过自转下轴9从上到下依次穿设有自转定位器10和与齿条12相啮合的自转齿轮11,使挂架32进行限位自转,所述挂架32与靶材20相对应设置;所述传动齿轮29的下方通过呈圆环状结构的导轨33活动连接底盘23。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人佛山王氏航空光学科技有限公司,其通讯地址为:528225 广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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