恭喜拓荆科技(上海)有限公司牛沛泽获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆传输腔室的抽气装置及晶圆传输腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222300624U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323459955.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆传输腔室的抽气装置及晶圆传输腔室是由牛沛泽设计研发完成，并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输腔室的抽气装置及晶圆传输腔室在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆传输腔室的抽气装置及晶圆传输腔室，包括：分别通过阀门与传输腔室相连接的干泵和分子泵，该干泵与该分子泵之间也通过阀门相连接，该分子泵上还连接有带有气动隔离阀的氮气源，该抽气装置可以提升传输腔室的真空度。
本实用新型一种晶圆传输腔室的抽气装置及晶圆传输腔室在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输腔室的抽气装置，其特征在于，包括：分别通过阀门与传输腔室相连接的干泵和分子泵，所述干泵与所述分子泵之间也通过阀门相连接，所述分子泵上还连接有带有气动隔离阀的氮气源。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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