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龙图腾网恭喜南京方旭智芯微电子科技有限公司申请的专利热电堆红外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN107990989B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-12-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201711400216.7，技术领域涉及：G01J5/12；该发明授权热电堆红外探测器及其制备方法是由马清杰;吴多武;许正一设计研发完成，并于2017-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本热电堆红外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种热电堆红外探测器及其制备方法，涉及热电堆红外探测器技术领域。热电堆红外探测器包括经加工硅衬底，在经加工硅衬底上设置的红外吸收层，对经加工硅衬底的中部进行图形化及腐蚀化后形成的开口向下的背腔，背腔内设置有金属反射层。通过经加工硅衬底、金属反射层、红外吸收层围合形成一腔体，腔体即为光学谐振腔。红外线通过透镜聚焦到红外吸收层，到达红外吸收层的红外线与经过金属反射层反射回来的红外线在红外吸收层刚好形成大约12光程差，从而形成驻波效应，使得聚焦到热端红外吸收层的红外线尽可能获得吸收。极大提高红外线吸收率，从而增大热电堆红外探测器的响应率和探测率，极大降低热电堆红外探测器的噪声等效温差。

本发明授权热电堆红外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种热电堆红外探测器，其特征在于，包括经加工硅衬底，在所述经加工硅衬底上设置的红外吸收层，对所述经加工硅衬底的中部进行图形化及腐蚀化后形成的开口向下的背腔，所述背腔内设置有金属反射层；通过所述经加工硅衬底、所述金属反射层、所述红外吸收层围合形成一腔体，所述腔体即为光学谐振腔；其中，所述背腔内沿着所述金属反射层背面设置有支撑层，以支撑所述金属反射层；其中，所述红外吸收层上设置有图形化后的多个热电偶第一种材料，所述多个热电偶第一种材料中的每相邻两个热电偶第一种材料之间的间隔距离为预设距离；所述多个热电偶第一种材料上和所述红外吸收层上覆盖有隔离膜；所述隔离膜与每个热电偶第一种材料的顶部接触面上均设置有两个接触孔，在所有所述接触孔中每相邻两个热电偶第一种材料上相邻的两个接触孔及该相邻两个接触孔之间的所述隔离膜的部分隔离膜上均设置有热电堆第二种材料，以形成金属热电堆互联图形，所述热电堆第二种材料表面上设置有钝化层，所述钝化层上设置有多个线孔；其中，每相邻两个所述热电堆第二种材料之间的钝化层上，设置有一个线孔。

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