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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利用于测量衬底及膜厚度分布的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113847892B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-12-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111121743.0，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权用于测量衬底及膜厚度分布的系统及方法是由陈登鹏;A·曾设计研发完成，并于2018-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于测量衬底及膜厚度分布的系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于测量衬底及膜厚度分布的系统及方法。本系统包含经配置以测量跨衬底的平坦度的双干涉仪子系统。所述系统包含经配置以测量所述衬底的质量的质量传感器。所述系统包含通信地耦合到所述双干涉仪子系统及所述质量传感器的控制器。所述控制器包含一或多个处理器。所述一或多个处理器经配置以执行存储在存储器中的一组程序指令，所述一组程序指令经配置以致使所述一或多个处理器基于来自所述双干涉仪子系统的一或多个平坦度测量及来自所述质量传感器的一或多个质量测量确定依据跨所述衬底的位置而变的所述衬底或沉积在所述衬底上的膜中的至少一者的厚度分布。

本发明授权用于测量衬底及膜厚度分布的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种测量衬底和沉积于所述衬底上的膜的厚度的方法，其包括：基于来自双干涉仪子系统的一或多个平坦度测量及一或多个质量测量确定依据跨所述衬底的位置而变的所述衬底或沉积在所述衬底上的所述膜中的至少一者的厚度分布；其中基于来自所述双干涉仪子系统的一或多个平坦度测量及一或多个质量测量确定依据跨所述衬底的位置而变的所述衬底的厚度分布包括：从所述双干涉仪子系统接收依据跨所述衬底的位置而变的所述衬底的一或多个平坦度测量；接收所述衬底的一或多个质量测量；基于所述一或多个质量测量、所述衬底的材料密度以及所述衬底的面积，确定所述衬底的平均厚度；基于所述衬底的所述一或多个平坦度测量以及所述平均厚度，确定依据跨所述衬底的位置而变的所述衬底的所述厚度分布；及其中基于来自双干涉仪子系统的一或多个平坦度测量及一或多个质量测量确定依据跨所述衬底的位置而变的沉积在所述衬底上的所述膜的厚度分布包括：基于所述衬底的两个以上所述平坦度测量以及所述衬底的两个以上质量测量，确定依据跨所述衬底的位置而变的所述膜的厚度分布，其包括：在将膜沉积在所述衬底上之前且在将一或多个预层沉积在所述衬底上之后，接收衬底的第一平坦度测量及第一质量测量；在将所述膜沉积到所述衬底的所述预层上之后，接收所述衬底的第二平坦度测量及第二质量测量；及基于所述膜的密度、所述衬底的所述第一平坦度测量、所述衬底的所述第一质量测量、所述衬底的所述第二平坦度测量及所述第二质量测量，确定依据跨所述衬底的位置而变的所述膜的所述厚度分布。

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