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龙图腾网恭喜连科半导体有限公司申请的专利一种适用于8吋碳化硅外延炉的自动取放片托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221778027U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420236288.1，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种适用于8吋碳化硅外延炉的自动取放片托盘是由胡动力;王人松;李扬;贾新旺设计研发完成，并于2024-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于8吋碳化硅外延炉的自动取放片托盘在说明书摘要公布了：本实用新型属于碳化硅外延技术领域，具体的说是一种适用于8吋碳化硅外延炉的自动取放片托盘，包括圆环、石墨盘主体和可拆分底盘，所述石墨盘主体的顶部靠近外圆位置设置有圆环，所述圆环的内壁设置有若干衬底缺口卡槽，所述石墨盘主体的中心位置嵌设有可拆分底盘，所述可拆分底盘的顶部设置有三个支承体，三个所述支承体用于支撑晶片，通过衬底缺口卡槽可以有效降低晶片与圆环的侧壁之间在各方向上相对滑动的摩擦力，有效降低外延托盘在高速转动的过程中，晶片在惯性或者离心力的作用下脱离圆环的可能性，同时圆环与石墨盘主体平面有一定的高度差，出现异常情况没法自动取放晶片时，也能轻松手动取放片。

本实用新型一种适用于8吋碳化硅外延炉的自动取放片托盘在权利要求书中公布了：1.一种适用于8吋碳化硅外延炉的自动取放片托盘，其特征在于：包括圆环2、石墨盘主体3和可拆分底盘4，所述石墨盘主体3的顶部靠近外圆位置设置有圆环2，所述圆环2的内壁设置有若干衬底缺口卡槽7，所述石墨盘主体3的中心位置嵌设有可拆分底盘4，所述可拆分底盘4的顶部设置有三个支承体5，三个所述支承体5用于支撑晶片1，在放入晶片1后，圆环2的内侧高度高于晶片1放置在支承体5的水平位置。

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