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龙图腾网恭喜东领科技装备有限公司申请的专利一种原子层沉积喷淋装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221777988U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323577024.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积喷淋装置是由张远昊;张小强;金在宽设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种原子层沉积喷淋装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种原子层沉积喷淋装置，涉及原子层沉积技术领域。包括第一连接管和第二连接管，所述第一连接管上分别设置有用于对前驱体进行加热的加热组件和用于对前驱体进行引导的引导组件，所述加热组件包括加热罐，所述加热罐体侧固定连接有循环管，所述循环管一端固定连接螺旋块，所述引导组件上设置有用于对前驱体进行混合的混合组件，所述混合组件上设置有用于对前驱体进行喷淋的转动组件。本实用新型通过加热组件和引导组件的设置，实现了通过加热罐、循环管、螺旋块和螺旋片的配合，从而对前驱体进行接触式导热，避免在使用时以热辐射的形式对热量进行传递，导致温度过高而在喷淋装置内分解。

本实用新型一种原子层沉积喷淋装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积喷淋装置，其特征在于，包括第一连接管1和第二连接管102，所述第一连接管1上分别设置有用于对前驱体进行加热的加热组件3和用于对前驱体进行引导的引导组件4，所述加热组件3包括加热罐302，所述加热罐302体侧固定连接有循环管301，所述循环管301一端固定连接螺旋块303，所述引导组件4上设置有用于对前驱体进行混合的混合组件2，所述混合组件2上设置有用于对前驱体进行喷淋的转动组件5。

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