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恭喜成都旋极星源信息技术有限公司蒋新慧获国家专利权

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龙图腾网恭喜成都旋极星源信息技术有限公司申请的专利一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221782559U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323536468.6,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机是由蒋新慧;陈国旗;包青梅;马豪;王胜设计研发完成,并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机在说明书摘要公布了:本实用新型属于功率放大器芯片生产技术领域,尤其涉及一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机,包括底板和支撑柱,所述支撑柱固定连接于底板的上侧后端中间位置,所述支撑柱的上端前方固定连接有光刻主体,所述底板的上端连接有加工机构,所述加工机构包括防护单元和调节单元。该功率放大器芯片生产用接触式光刻机,在使用时,先将待光刻芯片放置于托板之上后,再启动第一电机和第二电机带动第一螺纹杆和第二螺纹杆一同转动,使得第一滑动块位于横向导轨的内侧滑动,第二滑动块位于纵向导轨的内侧滑动,直至上端托板之上的芯片移动至光刻主体下方对应光刻位置后,接着开启光刻主体对芯片进行光刻加工。

本实用新型一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机在权利要求书中公布了:1.一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机,包括底板1和支撑柱2,所述支撑柱2固定连接于底板1的上侧后端中间位置,其特征在于:所述支撑柱2的上端前方固定连接有光刻主体3,所述底板1的上端连接有加工机构,所述加工机构包括防护单元和调节单元,所述防护单元设置于底板1的上端,所述调节单元设置于底板1的上侧中间位置;所述防护单元包括护罩401、左护门402、右护门403、矩形框404、弹簧405、插杆406、拉板407、固定框408和握把409,所述护罩401固定连接于底板1的上侧边缘处,所述左护门402通过铰链铰接于护罩401的左端前方,所述右护门403通过铰链铰接于护罩401的右端前方,所述矩形框404固定连接于左护门402的前侧右端中间位置,所述弹簧405固定连接于矩形框404的内侧左端,所述插杆406固定连接于弹簧405的右端,所述拉板407固定连接于插杆406的前侧左端,所述固定框408固定连接于右护门403的前侧左端中间位置,所述握把409固定连接于左护门402前侧右端和右护门403前侧左端的中间位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人成都旋极星源信息技术有限公司,其通讯地址为:610000 四川省成都市高新区科园南二路2号1栋二层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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