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管芯、管芯的制造方法、液滴排出头以及液滴排出装置专利

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申请/专利权人:柯尼卡美能达株式会社

申请日:2023-05-25

公开(公告)日:2025-01-17

公开(公告)号:CN119325760A

专利技术分类:.具有电输入和机械输出,例如用作致动器或振动器[2023.01]

专利摘要:本发明提供抑制裂缝的产生的管芯、该管芯的制造方法、具备该管芯的液滴排出头及液滴排出装置。本发明的管芯具有包括压电体元件和成为压力室的中空部的压电体致动器,压电体元件至少具有压电体膜、位于压电体膜之上的第一电极及位于压电体膜之下的第二电极,在压电体致动器中,第二电极兼作振动板或在第二电极之下另外具有振动板,中空部位于兼作振动板的第二电极或另外具有的振动板之下,压电体膜将主面设为001面,晶体方位在主面面外方向及主面面内方向上对齐,在将从压电体膜的主面面外方向观察时的中空部的长边方向设为第一方向,将压电体膜的[100]方向设为第二方向时,第一方向与第二方向形成的锐角θ1在30~60°的范围内。

专利权项:1.一种管芯,具有一个或者多个具有压电体元件和成为压力室的中空部的压电体致动器,其特征在于,所述压电体元件至少具有压电体膜、位于所述压电体膜之上的第一电极以及位于所述压电体膜之下的第二电极,在所述压电体致动器中,所述第二电极兼作振动板,或者在所述第二电极之下另外具有振动板,所述中空部位于兼作振动板的所述第二电极或者另外具有的所述振动板之下,所述压电体膜将主面设为001面,所述压电体膜的晶体方位在主面面外方向以及主面面内方向上对齐,在将从所述压电体膜的主面面外方向观察时的所述中空部的长边方向设为第一方向,并且将所述压电体膜的[100]方向设为第二方向时,所述第一方向与所述第二方向所形成的锐角θ1在30~60°的范围内。

百度查询: 柯尼卡美能达株式会社 管芯、管芯的制造方法、液滴排出头以及液滴排出装置

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