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用于清洁包含钴和铜的衬底的组合物、其用途及方法专利

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申请/专利权人:巴斯夫欧洲公司

申请日:2023-05-26

公开(公告)日:2025-01-17

公开(公告)号:CN119325501A

专利技术分类:..羧酸或其盐类(皂入C11D9/00)[2006.01]

专利摘要:本发明涉及一种用于清洁衬底的碱性组合物,该衬底包括铜或铜合金的结构和包含钴或钴合金的结构,该组合物包含:a按重量计0.0001%至0.2%的钴腐蚀抑制剂,该钴腐蚀抑制剂选自表面活性剂,该表面活性剂选自iC10至C20烷基磺酸或C12至C24烷基苯磺酸,iiC8至C17烷基膦酸或具有式I1的氨基膦酸I1,其中RI1是C8至C20烷基,RI2选自H、C1至C6烷基和‑XI1‑POOH2,并且XI1选自C1至C6烷二基,iiiC12至C18烷基羧酸或具有式I2的肌氨酸或椰油酰肌氨酸I2,其中RI1是C12至C20烷基,RI3选自H、C1至C6烷基和‑XI1‑CO‑OH,并且XI1选自C1至C6烷二基,iv磷酸的C10至C20单或二烷基酯,i至iv的这些烷基可以被一个或多个O间断或者可以包含一个或多个双键,vi至iv的盐;b按重量计0.0001%至0.5%的铜腐蚀抑制剂,该铜腐蚀抑制剂选自苯并三唑、5‑氯苯并三唑、4‑甲基苯并三唑;5‑甲基苯并三唑;四氢苯并三唑;和甲基‑苯并三唑‑1‑基‑甲基‑亚氨基‑双乙醇;c按重量计0.05%至1%的C2至C7单氨基烷醇;以及d溶剂;其中该溶剂基本上由水组成。

专利权项:1.一种用于清洁衬底的碱性组合物,该衬底包括铜或铜合金的结构和包含钴或钴合金的结构,该组合物包含:a按重量计0.0001%至0.2%的钴腐蚀抑制剂,该钴腐蚀抑制剂选自iC10至C20烷基磺酸或C12至C24烷基苯磺酸,iiC8至C17烷基膦酸或具有式I1的氨基膦酸 其中RI1是C8至C20烷基,RI2选自H、C1至C6烷基和-XI1-POOH2,并且XI1选自C1至C6烷二基,iiiC12至C18烷基羧酸、具有式I2的肌氨酸、或椰油酰肌氨酸 其中RI1是C12至C20烷基,RI3选自H、C1至C6烷基和-XI1-CO-OH,并且XI1选自C1至C6烷二基,iv磷酸的C10至C20单或二烷基酯,i至iv的这些烷基可以被一个或多个O间断或者可以包含一个或多个双键,vi至iv的盐;b按重量计0.0001%至0.5%的铜腐蚀抑制剂,该铜腐蚀抑制剂选自苯并三唑、5-氯苯并三唑、4-甲基苯并三唑;5-甲基苯并三唑;四氢苯并三唑;和甲基-苯并三唑-1-基-甲基-亚氨基-双乙醇;c按重量计0.05%至1%的C2至C7单氨基烷醇;以及d溶剂;其中该溶剂基本上由水组成。

百度查询: 巴斯夫欧洲公司 用于清洁包含钴和铜的衬底的组合物、其用途及方法

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