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申请/专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日：2013-09-22
公开（公告）日：2015-03-25
公开（公告）号：CN104465472A
专利技术分类：..用于定位、定向或对准的[2006.01]
专利摘要：本发明揭示了一种对准装置，包括夹具、承载台、固定安装在夹具上的传感器、固定安装在承载台上的被感测体、及驱动夹具旋转和移动的驱动装置。本发明还揭示了一种夹具与承载台对准方法，包括：移动夹具，以使夹具上的传感器能够检测到承载台上的被感测体，如果传感器检测到被感测体，则夹具与承载台对准。本发明通过使传感器检测到被感测体，实现了夹具与承载台的预对准，当工件被放置于承载台后，由于夹具已与承载台对准，从而夹具与承载台上的工件对准，夹具取工件时，能够保证夹具与工件之间的相对位置没有偏移。
专利权项：一种对准装置，包括夹具和承载台，其特征在于，还包括：固定安装在夹具上的传感器、固定安装在承载台上的被感测体、及驱动夹具旋转和移动的驱动装置。
百度查询： 盛美半导体设备(上海)有限公司 对准装置及对准方法
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