一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具
专利号：202411028704X等年登印费
申请日：
2024-07-30
发布日期：2025-03-14
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专利摘要
本发明涉及晶圆夹具技术领域，具体涉及一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，包括底座，所述底座的顶部外壁转动连接有通道三，所述主吸板的底部外壁固定连接有圆形安装板，所述圆形安装板的内壁滑动连接有两个限位保护杆，所述圆形安装板的外壁开设有四个气口三，所述圆形安装板的外壁转动连接有环形通道一，所述环形通道一的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一，所述安装环一的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构。综上所述，本发明通过托杆子阻碍浮子的位移从而实现气体通道的更换，使得副吸板既可以辅助蓝膜与晶圆的贴合，还可以将贴好蓝膜的晶圆进行翻面，便于后续的切割。
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企业营业执照 专利证书原件 |
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