恭喜海太半导体(无锡)有限公司梅雪军获国家专利权
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龙图腾网恭喜海太半导体(无锡)有限公司申请的专利一种新型研磨设备晶圆片环固定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223029399U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421825128.7,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种新型研磨设备晶圆片环固定装置是由梅雪军;朱文龙设计研发完成,并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型研磨设备晶圆片环固定装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种新型研磨设备晶圆片环固定装置,包括基座,一号固定模块和二号固定模块,一对二号固定模块的连线与一对一号固定模块的连线相互垂直设置;一号固定模块和二号固定模块等间距且间隔设置,沿着顺时针方向,通过一号固定模块和二号固定模块形成安装片环的结构;限位模块也安装在基座上并卡入片环的定位槽内;基座上还安装有对射传感器,分别位于片环的两侧设置,对射传感器的安装高度高于最终多个片环安装后的顶部。本实用新型通过一号固定模块和二号固定模块实现与基座的稳定安装,利用榫卯结构实现结构间的契合,确保支架的安装精度、牢固性和耐用性,同时利用传感器避免多个片环的一次投入而产生的品质及安全隐患。
本实用新型一种新型研磨设备晶圆片环固定装置在权利要求书中公布了:1.一种新型研磨设备晶圆片环固定装置,其特征在于,包括: 基座1,所述基座1安装在研磨设备上; 一号固定模块2,所述一号固定模块2安装在基座1上,所述一号固定模块2在基座1上设置有一对,且对称设置; 二号固定模块3,所述二号固定模块3安装在基座1上,所述二号固定模块3在基座1上设置有一对,且对称设置,一对所述二号固定模块3的连线与一对所述一号固定模块2的连线相互垂直设置; 所述一号固定模块2和二号固定模块3等间距且间隔设置,沿着顺时针方向,通过一号固定模块2和二号固定模块3形成安装片环的结构; 限位模块4,所述限位模块4也安装在基座1上并卡入片环的定位槽11内; 对射传感器5,所述基座1上还安装有对射传感器5,分别位于片环的两侧设置,所述对射传感器5的安装高度高于最终多个片环安装后的顶部。
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