恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司李玉磊获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119764225B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510260904.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备是由李玉磊;王思民;卫春生;李翔;曹齐清;蔡栋煌;刘艳丽;凌军设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备,在对晶圆盒进行调度时,先在当前站点确定需要调度的目标调度机台,并确定该目标调度机台的目标晶圆盒待调度站点的站点类型。再在与站点类型相同的候选站点中确定目标晶圆盒待调度的目标运送机台,并确定与目标运送机台对应的目标运送仓。接着,直接将目标晶圆盒从目标调度机台运送到目标运送仓,以使目标晶圆盒可以从目标运送仓直接运送到目标运送机台进行操作。本实施例可以提高对晶圆盒的运输效率,还降低了晶圆盒清洗流程中的运输成本,适用性强。
本发明授权晶圆盒调度方法、晶圆盒调度装置和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒调度方法,其特征在于,所述方法包括: 在当前站点确定请求设备卸载的待调度的目标调度机台,并确定所述目标调度机台中目标晶圆盒待调度站点的站点类型;所述待调度站点的站点类型为清洗站点或加工站点;所述目标晶圆盒为待清洗的晶圆盒或清洗结束后的晶圆盒; 在与所述站点类型相同的候选站点中确定目标运送机台,并确定与所述目标运送机台附近的候选存储仓中调度距离最小的一个存储仓为目标运送仓;所述目标运送机台为与所述站点类型相同的可用候选机台中晶圆盒需求量最大的机台;所述目标运送仓与所述目标调度机台的存储仓不同; 将所述目标晶圆盒从所述目标调度机台直接运送到附近的所述目标运送仓,以使所述目标晶圆盒从所述目标运送仓运送到所述目标运送机台。
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