恭喜温州职业技术学院黄志宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜温州职业技术学院申请的专利直管磁过滤径向电弧源获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119811976B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510310980.3,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权直管磁过滤径向电弧源是由黄志宏设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本直管磁过滤径向电弧源在说明书摘要公布了:本发明涉及电弧源技术领域,特指直管磁过滤径向电弧源,包括阴极组件和阳极套筒,且阴极组件包括靶座,并且靶座包括底板和靶柱,所述靶柱外套设有靶材并内置有阴极磁钢组,且阴极磁钢组为一对环状磁钢,并且两个环状磁钢的磁场方向相反并为径向;所述阳极套筒为直管并套设有阳极磁钢,且阳极磁钢为圆筒,并且其磁场方向为轴向,且阳极套筒设置于底板上并与底板之间设置有绝缘板。因而本发明的等离子体和液滴在靶面是沿径向发射,并在阳极磁场约束下,等离子体为轴向传输,而液滴被阳极套筒内壁捕获,从而实现液滴的过滤和等离子体净化,相比较弯管,直管的结构较为简单且占用空间小,故方便加工与维护,而且传输路径较短,且传输效率较高。
本发明授权直管磁过滤径向电弧源在权利要求书中公布了:1.直管磁过滤径向电弧源,其特征在于,包括阴极组件和阳极组件,且阴极组件包括靶座2,并且靶座2包括底板21和设置于底板21中心的靶柱22,所述靶柱22外侧套设有靶材3,且靶柱22内部开设有用于水冷并放置阴极磁钢组4的腔室23,所述阴极磁钢组4为一对同轴且平行布置的环状磁钢,且两个环状磁钢的磁场方向为径向,并且两个环状磁钢的磁场方向相反; 所述阳极组件包括阳极套筒1和阳极磁钢5,且阳极套筒1为直管并内置有用于水冷的通道11,并且阳极套筒1外侧套设有阳极磁钢5,所述阳极磁钢5为圆筒,且阳极磁钢5的磁场方向为轴向,并且阳极套筒1设置于底板21上并与底板21之间设置有绝缘板6,且靶柱22位于阳极套筒1的轴心。
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