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龙图腾网恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利一种气相生长设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119913488B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510413333.5，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种气相生长设备是由张业民;童中华;林桂荣;张伟设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气相生长设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种气相生长设备，包括反应腔室、基片保持装置、气体注入装置和旋转驱动装置。其中的基片保持承载装置设置有若干用于承载基片的凹穴，凹穴的边部开设有弧形槽，当基片放置在凹穴的承载面上时，基片的部分边部悬空于弧形凹槽的上方，旋转驱动装置驱动基片保持装置旋转过程中，各凹穴的边部承载面所在的区域背向工艺气体在基片保持装置顶面形成旋转气流流动的来流方向，本发明在凹穴的迎风面形成弧形槽，内部承载面和边部承载面共同承载基片，可以在减少凹穴侧壁对基片边部温度过热的不利影响，同时利用背风面的凹穴侧壁传热对基片进行温度补偿，从而提高基片的温度均匀性。

本发明授权一种气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种气相生长设备，其特征在于，包括： 反应腔室； 基片保持装置，设于所述反应腔室内，所述基片保持装置的顶面沿同一周向开设有若干凹穴以组成凹穴组，各所述凹穴的边部开设有弧形槽； 气体注入装置，设于所述反应腔室，与所述基片保持装置的顶面相对设置，以提供工艺气体； 旋转驱动装置，动密封设于所述反应腔室，与所述基片保持装置固定连接，以驱动所述基片保持装置绕所述基片保持装置顶面的中心轴线旋转； 其中，所述凹穴包括顶面齐平并相接的内部承载面和边部承载面，所述弧形槽围绕所述内部承载面，所述边部承载面位于所述弧形槽两端之间，以使所放置的基片由所述内部承载面和所述边部承载面所支撑，且所述基片的部分边部悬空于所述弧形槽上方；所述旋转驱动装置驱动所述基片保持装置旋转过程中，所述工艺气体在所述基片保持装置顶面形成旋转气流，各所述凹穴的边部承载面所在的区域背向所述旋转气流流动的来流方向，所述旋转气流流动方向与所述基片保持装置的旋转方向相反； 所述弧形槽的顶面开口包括相对的第一端和第二端，所述第一端与所述弧形槽所在凹穴中心O′的第一连线和所述第二端与所述弧形槽所在凹穴中心O′的第二连线所夹的第一锐角a为85°~95°； 所述第二端相对所述第一端更靠近所述基片保持装置的旋转中心O，所述基片保持装置的旋转中心O与所述弧形槽所在凹穴中心O′的第三连线和所述第二连线所夹的角度β为40°~70°； 相邻所述凹穴组中，靠近所述基片保持装置的旋转中心O的内圈凹穴组中的各所述凹穴的所述角度β小于远离所述基片保持装置的旋转中心O的外圈凹穴组中的各所述凹穴的所述角度β； 最靠近所述基片保持装置的旋转中心O的凹穴组中，各所述凹穴的所述角度β为40°~50°。

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