恭喜珠海诚锋电子科技有限公司孙元宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜珠海诚锋电子科技有限公司申请的专利一种晶圆六面检测台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120044050B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510503133.9,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种晶圆六面检测台是由孙元宏;张腾;陈杰;许金诚设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆六面检测台在说明书摘要公布了:本发明涉及一种晶圆六面检测台,属于晶圆检测技术领域,该一种晶圆六面检测台,包括安装底板、旋转电机、旋转板以及安装在旋转板上的检测块,还包括:横向调节机构、纵向调节机构、放大机构和吹吸机构。本发明通过放大机构和吹吸机构的配合使用,实现了对晶粒的翻面操作,并且在翻面以及不翻面时,均能够对晶粒进行放大,使得检测相机拍摄的画面更加清晰,从而便于判断晶粒的质量,提高了检测精度,减少了检测相机的布置,节约了资源,降低了维修和装配困难,并且在翻转晶粒时,第二放大座处于第二放大座的正上方,此时凹槽的开口处于左侧,因此翻转粒径时,能够防止晶粒从第一放大座和第二放大座内滑出,从而避免晶粒甩出产生损失。
本发明授权一种晶圆六面检测台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆六面检测台,包括安装底板1、旋转电机2、旋转板3以及安装在旋转板3上的检测块,其特征在于,还包括: 所述检测块包括固定连接在旋转板3顶部的安装块7,所述安装块7的顶部贴合有调节块8,所述调节块8的顶部固定连接有固定块9,所述固定块9的顶部固定连接有检测座10; 安装在检测块上的横向调节机构11和纵向调节机构12,所述横向调节机构11包括固定连接在安装块7上的连接板1101,所述连接板1101上转动连接有第一调节柱1102,所述第一调节柱1102的内螺纹连接有第一调节杆1103,所述第一调节杆1103的端部贯穿连接板1101固定连接有第一滑板1104,所述第一滑板1104的端部固定连接有第一调节框1105,所述第一调节框1105内滑动连接有第一限位柱1106,所述纵向调节机构12包括与调节块8固定连接的固定架1201,所述固定架1201上固定连接有第二调节杆1202,所述第二调节杆1202的端部螺纹连接有第二调节柱1204,所述第二调节柱1204的端部转动连接有第二滑板1203,所述第二调节杆1202贯穿第二滑板1203,所述第二滑板1203的端部固定连接有第二调节框1205,所述第二调节框1205内滑动连接有第二限位柱1206,所述第二限位柱1206安装在调节块8上; 安装在检测块顶部的放大机构13,所述放大机构13包括转动连接在检测块顶部的第一放大座1301,所述第一放大座1301的顶部开设有存放槽1302,所述第一放大座1301的一侧固定连接有翻转耳1303,所述第一放大座1301的顶部转动连接有第二放大座1304,所述第二放大座1304的底部开设有凹槽1305; 安装在检测块内的吹吸机构15。
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