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龙图腾网恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利吸附装置和具有其的光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114594663B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210317502.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权吸附装置和具有其的光刻设备是由金伟龙设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本吸附装置和具有其的光刻设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种吸附装置和具有其的光刻设备，包括：吸盘，吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个吸附孔贯通放置面，吸附腔通过至少一个吸附孔与外界空气连通，抽气孔贯通吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个分隔片可转动地安装于吸盘且至少部分位于吸附腔内，分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，分隔片处于分隔位置时将吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个腔体与多个吸附孔中的部分连通，分隔片处于连通位置时允许两个腔体连通。根据本发明实施例的吸附装置能够根据电路板的尺寸来调节吸附区域的尺寸，具有吸附稳定性高、噪音小且能耗低等优点。

本发明授权吸附装置和具有其的光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种吸附装置，其特征在于，包括： 吸盘，所述吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，所述吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个所述吸附孔贯通所述放置面，所述吸附腔构造于所述吸盘内，所述吸附腔通过至少一个所述吸附孔与外界空气连通，所述抽气孔贯通所述吸附腔的腔壁； 至少一个分隔片，至少一个所述分隔片可转动地安装于所述吸盘且至少部分位于所述吸附腔内，至少一个所述分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，至少一个所述分隔片处于所述分隔位置时将所述吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个所述腔体与多个所述吸附孔中的部分连通，至少一个所述分隔片处于连通位置时允许两个所述腔体连通，所述分隔片包括分隔段、支撑部和手柄，所述分隔段位于所述吸附腔内，所述支撑部与所述分隔段连接，所述手柄连接于所述支撑部且位于所述吸附腔外； 其中，所述吸附腔的高度两侧的腔壁的内表面设有定位槽，所述分隔片处于所述分隔位置时所述分隔段位于所述定位槽内，所述分隔片的宽度两侧构造为与所述定位槽适配的弧形。

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