恭喜扬州新鹏能源科技有限公司何其金获国家专利权
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龙图腾网恭喜扬州新鹏能源科技有限公司申请的专利一种传感器单晶硅的刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119230461B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411352502.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种传感器单晶硅的刻蚀设备是由何其金;何飞;方艺霖;徐小萍设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传感器单晶硅的刻蚀设备在说明书摘要公布了：本发明涉及刻蚀设备的技术领域，且公开了一种传感器单晶硅的刻蚀设备，包括底座，底座上侧设置有舱体，舱体上壁固定连接有入气管与出气管，底座上设置有旋转座，方板上设置有竖条，竖条上固定安装有若干个方板，将需要处理的单晶硅片放置在每个圆板上，然后将每个圆板插入每个托板上方，再就可以向下移动圆板与限位环向下移动，从而可以将单晶硅片放置在托板上，同时限位环可以套接在对应的托板上，然后旋转移动活动条，这样就可以合上舱体，当单晶硅片反应完成后就可以打开舱体后旋转活动条带动连接条移动到槽口a处，然后就可以向上移动活动条后将单晶硅片取出，从而可以方便用户快速放置与取出单晶硅片，这样可以提高工作效率。
本发明授权一种传感器单晶硅的刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种传感器单晶硅的刻蚀设备，包括底座1，底座1上侧设置有舱体4，舱体4上壁固定连接有入气管6与出气管5，其特征在于：所述底座1上设置有旋转座22，旋转座22上设置有竖条21，竖条21上固定安装有若干个方板18，每个方板18上侧均固定安装有托板30，每个托板30上均开设有圆槽a36，每个圆槽a36侧壁均开设有槽口a37，旋转座22上方设置有活动条29，活动条29上固定安装有若干个连接条35，每个连接条35上均固定安装有圆板33，每个连接条35上侧均固定安装有限位环40。
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