买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜杭州新诺微电子有限公司申请的专利一种多波段多光源的混合照明系统及无掩模光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115657427B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211512933.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种多波段多光源的混合照明系统及无掩模光刻设备是由张峰设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多波段多光源的混合照明系统及无掩模光刻设备在说明书摘要公布了：本发明涉及无掩模光刻照明技术领域，具体为一种多波段多光源的混合照明系统及无掩模光刻设备。一种多波段多光源的混合照明系统，包括第一光源，具有第一光轴；第一透镜组，沿所述第一光轴设置，且所述第一透镜组与所述第一光源相邻设置；第一光棒，沿所述第一光轴设置，且所述第一光棒与所述第一透镜组相邻设置；第二透镜组，沿所述第一光轴设置，且所述第二透镜组与所述第一光棒相邻设置；第二及第三光源，具有第二光轴，且所述第二光轴与所述第一光轴垂直设置。本发明的多波段多光源的混合照明系统，在混合光源能够全面覆盖350‑440nm波段的前提下，还能够完全消除数字微镜器件像面上的轴向色差以保证无掩模光刻设备的光刻效果。

本发明授权一种多波段多光源的混合照明系统及无掩模光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种多波段多光源的混合照明系统，其特征在于：包括 第一光源（100），具有第一光轴； 第一透镜组（200），沿所述第一光轴设置，且所述第一透镜组（200）与所述第一光源（100）相邻设置； 第一光棒（300），沿所述第一光轴设置，且所述第一光棒（300）与所述第一透镜组（200）相邻设置； 第二透镜组（400），沿所述第一光轴设置，且所述第二透镜组（400）与所述第一光棒（300）相邻设置； 第二及第三光源（800），具有第二光轴，且所述第二光轴与所述第一光轴垂直设置； 第三透镜组（900），沿所述第二光轴设置，且所述第三透镜组（900）与所述第二及第三光源（800）相邻设置； 第二光棒（1000），沿所述第二光轴设置，且所述第二光棒（1000）与所述第三透镜组（900）相邻设置； 第四透镜组（1100），沿所述第二光轴设置，且所述第四透镜组（1100）与所述第二光棒（1000）相邻设置； 带通滤波片（500），设于所述第一光轴与所述第二光轴的光轴交点上，将所述第二透镜组（400）出射的第一光线与所述第四透镜组（1100）出射的第二光线进行耦合以得到混合光线； 反射镜（600），与所述带通滤波片（500）以及数字微镜器件（700）配合设置，将所述带通滤波片（500）出射的混合光线反射至数字微镜器件（700）上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州新诺微电子有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区南阳街道岩峰村（自然村）772号-28；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。