恭喜西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司令狐钊获国家专利权
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龙图腾网恭喜西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利晶棒分离装置、系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115816670B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211598671.3,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权晶棒分离装置、系统及方法是由令狐钊;张超设计研发完成,并于2022-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶棒分离装置、系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶棒分离装置、系统及方法,涉及硅片管理技术领域。该晶棒分离装置包括:中转台、缓存区以及可移动夹爪;所述中转台用于承载载具或者承载装载有晶棒的载具;所述缓存区临近设置于所述中转台的一侧;所述可移动夹爪设置于所述中转台沿竖直方向的上方,并可移动至所述缓存区,用于将所述晶棒与所述载具分离。本发明实施例的方案,通过所述中转台对晶棒和载具分离之前提供中转的承载空间;通过所述可移动夹爪将所述晶棒从所述载具上分离,并夹取到所述缓存区对分离后的晶棒进行存放。本发明实施例的晶棒分离装置,降低了人工参与度,能够自动将晶棒与承载所述晶棒的载具进行分离,提高了晶棒分离效率,保证了晶棒分离的安全性。
本发明授权晶棒分离装置、系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种晶棒分离装置,其特征在于,包括: 中转台、缓存区以及可移动夹爪; 所述中转台用于承载载具或者承载装载有晶棒的载具; 所述缓存区临近设置于所述中转台的一侧; 所述可移动夹爪设置于所述中转台沿竖直方向的上方,并可移动至所述缓存区,用于将所述晶棒与所述载具分离; 进料台以及出料台; 所述进料台设置于所述中转台远离所述缓存区的一侧,所述出料台用于承载经过与所述晶棒分离的载具; 所述中转台为可旋转中转台,所述可旋转中转台还用于转运所述载具; 所述中转台包括:滚筒结构,滚筒结构的出口靠近所述缓存区;所述出料台与所述缓存区呈预设角度设置,通过旋转所述中转台,所述滚筒结构的出口对应于所述出料台; 检测装置,用于检测位于所述中转台上的载具上是否承载有所述晶棒;所述检测装置包括以下一项: 设置于所述中转台上的重量检测装置、设置于所述中转台上的光电传感器以及设置于所述移动夹爪上的距离探测器。
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