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龙图腾网恭喜复旦大学申请的专利一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116043328B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310049219.X，技术领域涉及：C30B25/14；该发明授权一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置是由马宏平;郭运铎设计研发完成，并于2023-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置，包括进气机构、初分散机构、孔板组件；所述进气机构的出气端开设有第一通气孔；所述初分散机构固定安装在所述进气机构的出气端；所述初分散机构内开设有若干与所述第一通气孔连通的导气孔组件；所述孔板组件固定安装在所述初分散机构远离所述第一通气孔的一端；所述孔板组件用于将所述导气孔组件内的气流分散后排出；其中，所述第一通气孔、所述导气孔组件、所述孔板组件的导流方向均与所述进气机构内气流方向垂直设置。本发明可将水平气流转换为均匀的垂直气流，解决现有水平外延炉的水平气流导致流场不均匀的缺陷，提高碳化硅外延片的成型质量。

本发明授权一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅水平外延炉用的气流转换装置，其特征在于，包括： 进气机构1，所述进气机构1的出气端开设有第一通气孔101； 初分散机构，所述初分散机构固定安装在所述进气机构1的出气端；所述初分散机构内开设有若干与所述第一通气孔101连通的导气孔组件； 孔板组件，所述孔板组件固定安装在所述初分散机构远离所述第一通气孔101的一端；所述孔板组件用于将所述导气孔组件内的气流分散后排出； 其中，所述第一通气孔101、所述导气孔组件、所述孔板组件的导流方向均与所述进气机构1内气流方向垂直设置； 所述初分散机构包括： 连接板2，所述连接板2固接在所述进气机构1的出气端；所述连接板2上开设有第二通气孔4； 导流器，所述导流器固接在所述连接板2远离所述第二通气孔4的一端；所述导流器内开设有若干所述导气孔组件，所述导气孔组件通过所述第二通气孔4与所述第一通气孔101连通； 其中，所述孔板组件固定安装在所述导流器远离所述连接板2的一端；所述第二通气孔4与所述第一通气孔101导流方向相同； 所述导流器包括导流器本体3，所述导流器本体3固接在所述连接板2远离所述第一通气孔101的一端；所述导流器本体3的顶部开设有与所述第二通气孔4连通的中心通孔5； 所述导流器本体3内开设有若干所述导气孔组件，所述导气孔组件与所述中心通孔5连通；所述中心通孔5与所述第一通气孔101导流方向相同；所述孔板组件固定安装在所述导流器本体3的底部。

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