恭喜昆明理工大学宋鹏获国家专利权
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龙图腾网恭喜昆明理工大学申请的专利一种绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘及其涂层制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116446043B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310428261.2,技术领域涉及:C30B28/14;该发明授权一种绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘及其涂层制备方法是由宋鹏;杨明财;金青林;黄太红设计研发完成,并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘及其涂层制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘及其涂层制备方法,属于多晶硅生产技术领域。所述还原炉底盘的表面和电极表面上依次喷涂第一涂层、第二涂层和第三涂层;所述第一涂层由Al2O3、Y2O3和Na2O组成的复合粉末喷涂形成;所述第二涂层由二甲基甲酰胺、聚四氟乙烯和硅溶胶热融覆形成;所述第三涂层由Y2O3、Al2O3、Na2O、ZrO2和钇稳定氧化锆纤维组成的复合粉末喷涂形成;所述第一涂层包括微米级粉末和纳米级粉末。本发明所述绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘涂层间结合力强,致密度高,具有优异的耐高温、耐腐蚀、耐磨损、绝缘性好的性能。所述第一涂层具有纳米级颗粒和微米级颗粒的双峰涂层,使得涂层结构更加紧密、开裂韧性和硬度高。
本发明授权一种绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘及其涂层制备方法在权利要求书中公布了:1.一种绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘,其特征在于,所述还原炉底盘的底盘表面和电极表面上依次喷涂第一涂层、第二涂层和第三涂层;所述第一涂层由Al2O3、Y2O3和Na2O组成的复合粉末喷涂形成;所述第二涂层由二甲基甲酰胺、聚四氟乙烯和硅溶胶形成;所述第三涂层由Y2O3、Al2O3、Na2O、ZrO2和钇稳定氧化锆纤维组成的复合粉末喷涂形成;所述第一涂层包括微米级粉末和纳米级粉末,第一涂层中微米级粉末占比8%-12%,纳米级粉末占比88%-92%;微米级粉末粒径为80~230μm,纳米级粉末粒径为400~780nm; 在所述还原炉底盘的底盘表面和电极表面喷涂涂层,包括如下步骤: S1:将第一涂层的复合粉末、第二涂层的有机物质、第三涂层的复合粉末预热; S2:将基体加热到90-150℃,然后通过等离子喷涂技术将预热的第一涂层的复合粉末喷涂在基体表面形成第一涂层,等离子喷涂的同时进行激光熔覆; S3:通过热融覆技术将预热的第二涂层的有机物质覆在第一涂层表面形成第二涂层; S4:通过等离子喷涂技术将预热的第三涂层的复合粉末喷涂在第二涂层表面形成第三涂层,等离子喷涂的同时进行激光熔覆,凝固后得到绝缘耐高温磨蚀还原炉底盘;所述基体为还原炉底盘的底盘和电极。
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