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龙图腾网恭喜苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116876064B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311146112.3，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机是由刘瑞;杨仕品;华斌设计研发完成，并于2023-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机在说明书摘要公布了：本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机，一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机，包括机架以及设置在机架上的多层电镀槽体。该槽口可调节的晶圆单片式电镀机，通过设置伸缩拉展机构，实现对电镀槽体内槽口孔径大小的调节，避免不同的电镀液发生混合，同时适应不同大小尺寸的半导体晶圆进行电镀液冲洗，伺服马达输出轴的转动带动与其连接的连接轴转动，该连接轴的转动带动与其连接的齿轮转动，该齿轮的转动使其沿着齿环的表面移动，从而带动另一个齿轮转动，同时该齿轮的转动带动连接轴转动，进而便于通过连接轴带动两个弧形调节板沿着凹槽内壁进行相对运动，达到调节槽口的效果。

本发明授权一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机在权利要求书中公布了：1.一种槽口可调节的晶圆单片式电镀机，包括机架（1）以及设置在所述机架（1）上的多层电镀槽体（2），其特征在于：还包括设置在所述机架（1）两侧的防护机构、设置在所述电镀槽体（2）槽口处的伸缩拉展机构和设置在所述电镀槽体（2）内底壁上的定位调节机构； 防护机构，所述防护机构包括呈对称分布设置在所述电镀槽体（2）上表面的半圆形闭合板（3），两个所述闭合板（3）在相互靠近或远离中对所述电镀槽体（2）的进料槽口进行闭或开的动作，从而保证所述电镀槽体（2）内部的洁净； 伸缩拉展机构，所述伸缩拉展机构包括呈对称分布设置在所述电镀槽体（2）内部槽口处的弧形调节板（4），两个所述弧形调节板（4）均位于所述电镀槽体（2）的槽口内部，随着两个所述弧形调节板（4）的相对运动实现对所述电镀槽体（2）内槽口孔径大小的调节动作； 定位调节机构，所述定位调节机构包括通过轴承安装在所述电镀槽体（2）内底壁上的夹持台（5），同时所述夹持台（5）的上部设置有定位盘（51），以实现对不同尺寸大小的半导体晶圆夹持承托动作。

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