恭喜唯实先端智能科技(苏州)有限公司刘明获国家专利权
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龙图腾网恭喜唯实先端智能科技(苏州)有限公司申请的专利一种新型导流结构及高洁净晶圆光罩存储库获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118016573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311556979.6，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种新型导流结构及高洁净晶圆光罩存储库是由刘明;黄益民设计研发完成，并于2023-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型导流结构及高洁净晶圆光罩存储库在说明书摘要公布了：本发明涉及的一种新型导流结构及高洁净晶圆光罩存储库，包括设置在存储库一侧的过渡板结构，存储库具有存储腔，过渡板结构包括第一板体、第二板体和第三板体，第一板体和第三板体相互平行，第二板体连接在第一板体和第三板体之间，第二板体向存储腔的内侧下方倾斜，第二板体下方形成用于对接外接设备的避让区，第二板体的上表面用于对进入存储腔的气体进行导流，第一板体与第二板体之间的角度为45°，第二板体与第三板体之间的角度为45°。能够在保证洁净度的要求下大幅度提高晶圆的存储量。
本发明授权一种新型导流结构及高洁净晶圆光罩存储库在权利要求书中公布了：1.一种新型导流结构，其特征在于：包括设置在存储库一侧的过渡板结构，所述存储库具有存储腔，所述过渡板结构包括第一板体、第二板体和第三板体，所述第一板体和所述第三板体相互平行，所述第二板体连接在所述第一板体和第三板体之间，所述第二板体向存储腔的内侧下方倾斜，所述第二板体下方形成用于对接外接设备的避让区并且设置为阶梯结构，所述第二板体的上表面用于对进入所述存储腔的气体进行导流，所述第一板体与所述第二板体之间的角度为45°，所述第二板体与所述第三板体之间的角度为45°； 还包括还包括第一导流板和第二导流板，所述第一导流板与所述第一板体下侧连接或接触，所述第二导流板与所述第三板体的下侧连接或接触，所述第一导流板和第二导流板向所述存储腔的内侧下方倾斜，所述第一导流板和所述第二导流板的数量均设置有多块。
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