买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜深圳市汉诺精密科技有限公司申请的专利一种XY双驱平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626974B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510160940.5，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种XY双驱平台是由冯汉青设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种XY双驱平台在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆检测设备领域，具体公开了一种XY双驱平台，其包括滑移机构，包括基座、下滑台、上滑台、第一直线电机和第二直线电机；检测机构；固定机构，设置有两组，包括安装环、吸附块、真空泵和驱动组件，所述安装环设置于上滑台上，所述吸附块滑动设置于安装环上，所述吸附块的内部设置有空腔，所述吸附块上开设有吸附孔，所述吸附块与真空泵连通，以使吸附块可在负压作用下与晶圆吸附固定，所述驱动组件用于驱使吸附块滑动；两所述固定机构之间设置有用于容纳晶圆的间隙，当其中一固定机构与晶圆固定连接时，另一固定机构与晶圆呈分离设置。本申请能够对晶圆的边缘部位进行检测，有助于保证检测的完整性。

本发明授权一种XY双驱平台在权利要求书中公布了：1.一种XY双驱平台，其特征在于，包括：滑移机构（1），包括基座（11）、下滑台（12）、上滑台（13）、第一直线电机（14）和第二直线电机（15），所述下滑台（12）滑动连接于基座（11）上，所述上滑台（13）滑动连接于下滑台（12）上，所述上滑台（13）和下滑台（12）的中部均呈开口设置，所述第一直线电机（14）用于驱使下滑台（12）滑动，所述第二直线电机（15）用于驱使上滑台（13）滑动；检测机构（2），包括上检测头（21）和下检测头（22），所述上检测头（21）位于上滑台（13）的上方，所述下检测头（22）位于上滑台（13）的下方，所述上检测头（21）和下检测头（22）的检测端均朝向上滑台（13）；固定机构（3），所述固定机构（3）设置有两组，所述固定机构（3）包括安装环（31）、吸附块（32）、真空泵和驱动组件（33），所述安装环（31）设置于上滑台（13）上，所述吸附块（32）滑动设置于安装环（31）上，所述吸附块（32）设置有多个且呈圆周阵列排布，所述吸附块（32）的内部设置有空腔，所述吸附块（32）上开设有吸附孔（321），所述吸附块（32）内部的空腔与真空泵连通，以使吸附块（32）可在负压作用下与晶圆（9）吸附固定，所述驱动组件（33）用于驱使多个吸附块（32）向靠近阵列排布中心或远离阵列排布中心的一侧滑动；两所述固定机构（3）间隔排布，两所述固定机构（3）之间设置有用于容纳晶圆（9）的间隙，其中一所述固定机构（3）用于与晶圆（9）的顶部边缘吸附连接，另一所述固定机构（3）用于与晶圆（9）的底部边缘吸附连接，当其中一固定机构（3）与晶圆（9）吸附连接时，另一固定机构（3）与晶圆（9）呈分离设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市汉诺精密科技有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1303号鸿信工业园4号厂房101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。