恭喜苏州晨晖智能设备有限公司李维霞获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州晨晖智能设备有限公司申请的专利用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119877084B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510389561.3，技术领域涉及：C30B15/00；该发明授权用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉是由李维霞;闫洪嘉;张鹏设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉在说明书摘要公布了：本发明涉及单晶硅拉晶排气技术领域，提供一种用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉，包括导气筒体，其特征在于：所述导气筒体的内腔沿气流方向形成渐扩式结构，其内腔半径自进气端向出气端方向连续递增，且所述导气筒体的扩张角α满足2°≤α≤12°，其中，所述扩张角为导气筒体轴线与内壁切线之间的夹角；所述导气筒体的内壁表面形成无阶梯突变的连续流道。本发明所述的排气装置及单晶炉，无需外部干预的情况下同步解决氧化物沉积、炉压波动及氧含量失控的问题。
本发明授权用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉在权利要求书中公布了：1.一种用于单晶硅拉晶的排气装置，包括导气筒体，其特征在于：所述导气筒体的内腔沿气流方向形成渐扩式结构，其内腔半径自进气端向出气端方向连续递增，且所述导气筒体的扩张角α满足2°≤α≤12°，其中，所述扩张角为导气筒体轴线与内壁切线之间的夹角；所述导气筒体的内壁表面形成无阶梯突变的连续流道；所述渐扩式结构的扩张曲线满足对数螺旋线；其中，对数螺旋线的极坐标方程表示为；r表示极径；θ表示极角；a表示初始半径尺度因子，为常数，且满足a∈[50，150]mm；e表示自然对数的底数；b表示曲率控制因子，为常数，且满足b∈[0.02，0.15]；所述导气筒体至少包括两个功能段，沿气流方向依次为，渐扩过渡段，其长度占所述导气筒体总长的60%-70%，其扩张角α满足α=5°±0.5°；稳压分离段，其长度占所述导气筒体总长的15%-30%，其扩张角α满足α=12°±1°。
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